伴隨著科技的發展,現在干式真空泵也在各行各業有很廣泛的作用,而且干式真空泵結構簡單,維修起來也很方便,所以受到了很多行業的喜愛,那么它的應用領域都有哪些呢?下面就給大家介紹一下。
一、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中
因為HCI等極易溶解于水,所以如果用傳統的真空泵將無法很好地回收和分離反應的尾氣,更嚴重的是,HCI溶解于水之后是強酸,能快速溶解腐蝕金屬的容器和器材,嚴重減低設備的使用期限,加大生產的成本,增加設備的生產周期。而應用了干式真空泵之后,因為干式真空泵不需要水,所以就很好地解決了HCI溶解于水而腐蝕設各地問題,從而減低了生產成本,提升了生產效率。
二、半導體刻蝕工藝
在半導體刻蝕工藝中,雖然加熱到393k的高溫干燥,但是其水分還會留在空氣中,也會影響刻蝕工藝的效果,所以需要在真全環境下進行,而傳統的真空泵有不可避免地引入了油和部分水,因此這個真空環境的創造最好的選擇就是用干式真空泵進行抽氣。
三、電子和半導體行業
在造紙工業用真空泵進行脫水又是真空泵用途的一個重要的運用。而且廠家也可以在紙張生產和印刷過程中提供最合適的真空解決方案。
四、電力變壓器和真空領域
部件或在組裝和繞組接線之后的整個內定子,在真空狀態下浸漬絕緣漆成為整體的絕緣處理工藝。電力變壓器的真空干燥、變壓器的真空注油、環氧樹脂澆注干式變壓器、電抗器、互感器、高壓開關絕緣子的生產,還可以用于需要環氧樹脂包封的電力、電子元件的真空澆注成型。
五、食品包裝行業
吸塑成型和塑料擠出機除氣,在塑料生產過程中,熱塑型塑料在擠出機內熔化,并在螺桿擠出部分進行除氣,將熔化物中的氣體和蒸氣排出,以獲得理想的熱塑性塑料設備,具有更高的強度和更加好的絕緣性能。氯乙烯氣體的抽取和壓縮,在PVC生產過程中,氯乙烯氣體在自動高壓反應釜的壓力下得到聚合,形成聚合PVC。同時所產生的氣體被抽出、壓縮和液化。
六、醫藥化工領域
現在中國的醫藥化工行業排污非常嚴重,一些含有貴重原料的溶液,由于回收困難,往往被當成廢料排泄,這不僅造成了極大的污染,破壞環境,還使原料浪費,也大大增加了資源的消耗,對長期的發展起了阻礙作用。而干式真空泵由于不會引入水和油等雜質,所以可以很好地制造真空環境,讓含有原料的化工醫藥原料分離的同時不會降低甚至可以幫助提純原料,從而達到回收原料,降低成本的效果。
伴隨著科技的發展,一些工藝對清潔度的要求也是越來越高的。針對于無油的干式泵來講,在二十~30年前就有過專門的設計,主要是針對于發展核工業的需求提出的。實際上作為干式泵直接向大氣中排氣,泵腔內不得用任何液體來密封其內漏,并且泵的壓縮比要高達106,能設計出一種新的抽氣工作原理的干式泵確實是一件不容易的事,就現階段看來,所有的干式真空泵質量還是很好的。