干式螺桿式真空泵是一種工作容積作回轉運動的容積式機械真空泵。氣體的壓縮依靠容積的變化來實現，螺桿泵的一對轉子在機殼內作回轉運動來達到容積的變化。其工作容積在周期性擴大和縮小的同時，空間位置也隨之變更。干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，泵工作時，相互之間無磨擦，轉動平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此干式螺桿式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節省能源，免維修等優勢。下面就看一下使用的流程吧。

　　一、日常檢查。

　　檢查干式螺桿真空泵是不是安裝橫平豎直。地腳螺釘是不是擰緊。電動機連接線是不是接駁正常。電動機轉向是不是正常，如果反向轉動的話，應馬上改正。進氣管道、排氣管道是不是密封。冷卻水管道是不是接好、漏水，消音器是不是安裝好，進氣口閥門是不是安裝好。然后觀察泵轉動方向是不是和泵上所標識的是不是一樣，如果不一樣，馬上改正。每次運行螺桿真空泵，都須使泵先空運行一小段時間，將泵內和消音器內的液體排出，直到排氣口。無液體排出，為泵正常運行作準備。打開冷卻水閥門。

　　二、運行和轉動。

　　打開干式螺桿真空泵進氣閥門和關閉進氣口。應觀察轉動中的各項數據是否正常，對泵保護有很重要。由于干泵的特殊構造，其轉動以后的電流和機械泵、羅茨泵等不一樣。干式螺桿式真空泵在極限壓力情況下，電流會變大，是屬于正常情況。在同大氣情況下會小，也是屬正常情況，

　　三、使用后停機檢查。

　　當干式螺桿真空泵使用后，應關閉進氣口閥門。打開排氣口閥門，應切斷泵電動機電源。在溫度低的時候，要放盡泵內的冷卻水，以免在冬季或在寒冷的環境，泵內的水凍壞泵體，致干式螺桿真空泵不能運行。

　　伴隨著國內工業界的發展趨勢，在半導體工業、液晶顯示屏等工藝生產制造中，對清潔真空環境的需求變得越來越高，而一般的有油真空泵現已達不到這樣的需求了。干式螺桿真空泵以其抽速范圍寬、構造簡單緊密、抽氣腔元件無摩擦、使用壽命長、能耗低、無油污染等優勢，獲得越來越多生產制造和應用企業的重視，在干式真空