干式真空泵主要在半導體行業、化學工業、薄膜產業得到應用和發展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段，如日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，而歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

抽除易燃易爆及腐蝕性介質怎么辦？

眾所周知，腐蝕是由于溶液里的酸性離子和堿性離子跟金屬發生反應才造成的，溫度越高腐蝕的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材質或是在轉子上做一些防腐涂層來延緩腐蝕速率。

但是由于干式真空泵運行時內部存在苛刻的熱條件，所以使用上述耐腐蝕材料來處理腐蝕性介質對無油干式真空泵是不適合的。

此外使用鐵劑金屬高鍍鎳涂層材質，一旦出現細微的裂紋就會導致材料產生迅速的電化學腐蝕。那么是不是只要特殊設計能可靠地控制溫度的設備把腐蝕性介質保持在氣相狀態，沒有離子形式存在是不是就不存在腐蝕了？雅之雷德機電科技答案是肯定的。該泵應用其自身先進的冷卻系統，可以調整泵腔內及轉子的溫度，使之沒有離子形式存在，全都氣化，從而避免腐蝕。所以此螺桿干式真空泵轉子采用不銹鋼，不做任何涂層，降低了成本，增加了安全性能。

評價爆炸有兩個指標：可燃物質的閃點及燃點。因為螺桿干式真空泵中的兩個螺桿在泵體內沒有摩擦，所以不會產生電火花，就沒有了火源，另外其通過自身的冷卻系統降低泵內溫度使被抽物質的燃點難以達到，從而杜絕爆炸！

干式真空泵是行業發展的趨勢，干式真空泵使工作容積中無油，因此帶來了不少益處。有些立式螺桿真空泵通過對內表面溫度的控制以滿足新的ATEX防爆條例的要求。由于能夠維持最小的內部溫度，從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應；輕松的輸送腐蝕性介質，安全的輸送易燃易爆氣體。適于處理含固體微粒介質并且不需要加過濾器。